日本optiworks非接觸式 3D 測(cè)量系統(tǒng) 光學(xué)測(cè)量?jī)x

日本optiworks非接觸式 3D 測(cè)量系統(tǒng)Modular Optical Pen DUO

產(chǎn)品特征

1 實(shí)現(xiàn)更精確的表面形狀測(cè)量，更寬的測(cè)量范圍
除了以前型號(hào)中使用的測(cè)量方法（“共焦彩色模式"）外，還安裝了一種新的“干涉測(cè)量模式"。現(xiàn)在可以處理更精確的表面形狀測(cè)量。兩種模式均可根據(jù)需要的測(cè)量精度使用，擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。

2 模式控制器
該控制器可用于共焦/彩色模式和干涉測(cè)量模式。與之前的型號(hào)一樣，系統(tǒng)配置簡(jiǎn)單易用，只需根據(jù)所需的測(cè)量精度更換筆形模塊即可。

測(cè)量原理（干涉測(cè)量方式）

從光源發(fā)出的光被測(cè)量對(duì)象、參考板（參考平面）等反射。此時(shí)，兩束反射光之間會(huì)產(chǎn)生光程差。如圖所示，將參考板插入待測(cè)物體前，使其盡量靠近，當(dāng)光程差進(jìn)入相干長(zhǎng)度時(shí)，兩束反射光就會(huì)發(fā)生干涉。由于這種干涉的光譜強(qiáng)度受波長(zhǎng)調(diào)制，因此可以通過(guò)同軸顏色校正光學(xué)筆對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和分析，從而實(shí)現(xiàn)更精確的厚度測(cè)量。

日本optiworks非接觸式 3D 測(cè)量系統(tǒng)Modular Optical Pen DUO

產(chǎn)品特征

1 實(shí)現(xiàn)更精確的表面形狀測(cè)量，更寬的測(cè)量范圍
除了以前型號(hào)中使用的測(cè)量方法（“共焦彩色模式"）外，還安裝了一種新的“干涉測(cè)量模式"?，F(xiàn)在可以處理更精確的表面形狀測(cè)量。兩種模式均可根據(jù)需要的測(cè)量精度使用，擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。

2 模式控制器
該控制器可用于共焦/彩色模式和干涉測(cè)量模式。與之前的型號(hào)一樣，系統(tǒng)配置簡(jiǎn)單易用，只需根據(jù)所需的測(cè)量精度更換筆形模塊即可。

測(cè)量原理（干涉測(cè)量方式）

從光源發(fā)出的光被測(cè)量對(duì)象、參考板（參考平面）等反射。此時(shí)，兩束反射光之間會(huì)產(chǎn)生光程差。如圖所示，將參考板插入待測(cè)物體前，使其盡量靠近，當(dāng)光程差進(jìn)入相干長(zhǎng)度時(shí)，兩束反射光就會(huì)發(fā)生干涉。由于這種干涉的光譜強(qiáng)度受波長(zhǎng)調(diào)制，因此可以通過(guò)同軸顏色校正光學(xué)筆對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和分析，從而實(shí)現(xiàn)更精確的厚度測(cè)量。