日本hrd熱范圍TM3

更新日期：2024-05-12

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廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商

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簡(jiǎn)要描述：

日本hrd熱范圍TM3
用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率
用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率

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產(chǎn)品介紹

日本hrd熱范圍TM3

熱物理特性顯微鏡是一種測(cè)量熱效率的設(shè)備，熱效率是熱物理特性值之一。
它是一種可以通過(guò)點(diǎn)，線(xiàn)和表面來(lái)測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
還可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)分布，這在常規(guī)的熱物理性質(zhì)測(cè)量裝置中被認(rèn)為是困難的。
它是一臺(tái)可對(duì)熱物理性質(zhì)進(jìn)行非接觸式和高分辨率測(cè)量的設(shè)備。
檢測(cè)光斑直徑為3μm，可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率的熱物理性質(zhì)測(cè)量（點(diǎn)/線(xiàn)/面測(cè)量）。
由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
您也可以在板上測(cè)量樣品。
激光非接觸式測(cè)量。
可以檢測(cè)薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

由于金屬的反射率具有隨表面溫度而變化的性質(zhì)（熱電阻法），因此通過(guò)捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度的變化，來(lái)測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過(guò)測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來(lái)獲得熱效率。

名稱(chēng)/產(chǎn)品名稱(chēng)	熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡
測(cè)量方式	熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1D，2D，1點(diǎn)）
測(cè)量項(xiàng)目	熱效率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率）
檢測(cè)光斑直徑	約3μm
1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間	10秒
待測(cè)薄膜	厚度從幾百納米到幾十微米
重復(fù)精度	耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10％
樣本	1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下需要對(duì)樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
工作溫度極限	24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）
載物臺(tái)移動(dòng)距離	? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm
激光加熱	半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：808nm
激光檢測(cè)	半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：658nm
電源供應(yīng)	交流100V 1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件	樣品架，參考樣品
選項(xiàng)	光學(xué)平臺(tái)，空調(diào)，空調(diào)房，濺射設(shè)備

產(chǎn)品中心 Products

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