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日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器

更新日期：2024-05-12

訪問量：576

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：
日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
UCD系列： 圓盤狀部件過濾精度0.003μm　推薦流量10～100L/min
RGF系列： 管狀部件　過濾精度0.1～10μm　推薦流量40～60L/min
UCS-M系列： 管狀部件　過濾精度0.003μm　推薦流量15～250L/min

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

 

金屬氣體過濾器

全部采用SUS316L材質(zhì)制造，緊湊式設(shè)計、高過濾精度、耐高溫（460℃）用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。

  • UCD系列： 圓盤狀部件過濾精度0.003μm　推薦流量10～100L/min
  • RGF系列： 管狀部件　過濾精度0.1～10μm　推薦流量40～60L/min
  • UCS-M系列： 管狀部件　過濾精度0.003μm　推薦流量15～250L/min

 低壓力損失金屬氣體過濾器　UCD系列

 

  • 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。
  • 使用氮氣（N2）輸入，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
  • 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm，實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
 
 
過濾精度0.003μm
推薦流量10～100?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線)
使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
使用溫度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L　內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件1/4"Gasket seal、其它

     

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