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日本hamai高純度氣體兼容容器閥
更新日期:2024-05-12
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
日本hamai高純度氣體兼容容器閥
日本hamai高純度氣體兼容容器閥
高純度氣體兼容容器閥
與高純度氣體兼容的高性能容器閥,用于半導(dǎo)體制造等
一種高純度氣體的容器閥,與半導(dǎo)體制造中使用的高純度氮?dú)?,高純度氧氣和液化氨兼容?/font>根據(jù)氣體的種類,我們有各種車身材料(如黃銅和不銹鋼)以及各種各樣的結(jié)構(gòu)(如背板類型和隔膜類型)的產(chǎn)品陣容。
[功能]高純度氣體用黃銅后座閥,閥體采用C3771材料。通過(guò)*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結(jié)構(gòu)追求更高的氣密性。
[規(guī)格]
,黃銅
易燃
,不易燃
,助燃
[特征]銅制隔膜閥,通過(guò)研磨膜片和非油脂規(guī)格,可支撐更高純度的氣體。通過(guò)采用與SUS-55LN型相同的結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)高耐用性。雙O形圈結(jié)構(gòu)是疏散的理想選擇。
[規(guī)格]
,黃銅
易燃
,不易燃
,助燃
[特點(diǎn)]高純度氣體用不銹鋼后座閥,具有與銅G-12型相同的結(jié)構(gòu),并使用SUS316L,對(duì)閥體具有優(yōu)異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。
[規(guī)格]
,不銹鋼
-flammable
,不易燃
,助燃
?氣體快速逸出,可以縮短檢查周期
?搜索氣體的改變是一觸式
⇒使用大氣氮?dú)鈾z查泄漏和總泄漏量后,
氬氣可以通過(guò)切換到模式來(lái)確定泄漏位置。
無(wú)需高級(jí)技能
-由于沒(méi)有吸收或滲透到彈性體中,因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測(cè)。
可以準(zhǔn)確定量泄
當(dāng)排出各種氣體時(shí),每種氣體都會(huì)發(fā)出自己*的光。通過(guò)測(cè)量這些光的每個(gè)波長(zhǎng)的光譜強(qiáng)度,可以測(cè)量各種氣體的分壓。從該分壓計(jì)算出每種氣體的泄漏量。
由于它可以測(cè)量光線,因此甚至可以很容易地測(cè)量低真空。
(右圖是各種氣體的發(fā)射顏色的示例。)
右圖是確認(rèn)使用已知電導(dǎo)率的元件在大氣壓空氣下進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后,使用氬氣測(cè)量泄漏量的精度的圖表。通過(guò)在大氣中校準(zhǔn)一次,可以準(zhǔn)確測(cè)量高達(dá)10-8 Pa·m3 / s的氣體,而與氮?dú)夂蜌鍤獾?/font>氣體類型無(wú)關(guān)。
物品 | 規(guī)格值 |
可檢測(cè)泄漏量 | 10 -2 至10 -8 Pa ? m 3 / s |
工作壓力 | 約50Pa |
搜索氣 | 氬氣,空氣(N 2)等 |
分析方法 | 光學(xué)的 |
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器 | 標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件 |
顯示/操作單元 | 手持式帶圖形顯示 |
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