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    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    發(fā)布時(shí)間： 2022-04-26　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1120次

    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    測(cè)量示例

    可以測(cè)量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車(chē)零件的各種樣品的膜厚。

     

    F3-CS桌面式膜厚測(cè)量系統(tǒng)

    F3-CS 是測(cè)量小樣品的測(cè)量系統(tǒng)。與測(cè)量臺(tái)集成的測(cè)量系統(tǒng)使其易于攜帶。
    只需將樣品的測(cè)量面朝下放在載物臺(tái)上即可進(jìn)行測(cè)量，大約1秒即可測(cè)量膜厚和折射率。

    主要特點(diǎn)

    • 緊湊的尺寸

    • 輕松連接，僅 USB 連接

    • 光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）

    主要用途

    光學(xué)鍍膜硬涂層、防滴膜等
    平板有機(jī)膜等

    產(chǎn)品陣容

    模型F3-CS-UVF3-CSF3-CS-近紅外
    測(cè)量波長(zhǎng)范圍190 – 1100nm380 – 1050nm950 – 1700nm

    膜厚測(cè)量范圍

    		3nm – 40μm15nm – 70μm100nm – 250μm
    準(zhǔn)確性*± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度
    1納米2納米3納米

    *取決于樣品和測(cè)量條件



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